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主题：【讨论】三氯氢硅的金属杂质

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xingyelove
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发表于：2010/11/06 11:04:42 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问多晶硅行业三氯氢硅主要控制的金属杂质有哪些？控制指标是多少？大家一起讨论一下。
我们这边是把混标中有的元素都测出来，但是具体控制的指标没有定论。
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2010/11/7 18:22:03 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
等国标吧，月底就要开审定会了
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liaoxiaozi
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2010/12/28 15:29:57 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
国标发布了 太阳能级多晶硅标准中规定了 基体金属杂质的含量
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xingyelove
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2010/12/29 17:50:36 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 liaoxiaozi(liaoxiaozi) 发表:
国标发布了 太阳能级多晶硅标准中规定了 基体金属杂质的含量

这好像是成品的金属杂质指标吧，具体到过程控制中的三氯氢硅不知道是什么样的要求?
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2011/2/18 18:58:29 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 liaoxiaozi(liaoxiaozi) 发表:
国标发布了 太阳能级多晶硅标准中规定了 基体金属杂质的含量


等着吧，国标难产了...
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光哥
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2011/2/22 15:36:47 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 nps(nps) 发表:
原文由 liaoxiaozi(liaoxiaozi) 发表:
国标发布了 太阳能级多晶硅标准中规定了 基体金属杂质的含量


等着吧，国标难产了...


那个标准~~~~~飘过，不评价
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jiangdelai909
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2011/2/24 9:36:16 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
检测方法的标准呢，什么时候有？
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regedit88888
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2011/2/24 16:41:39 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
P，B怎么做？多晶硅，感觉是科技传销。贪婪的砖家忽悠贪婪的老板们的钱。
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光哥
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2011/3/1 9:11:32 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 regedit88888(regedit88888) 发表:
P，B怎么做？多晶硅，感觉是科技传销。贪婪的砖家忽悠贪婪的老板们的钱。


视产品情况而定，化学法的硅，P/B一般都用FT-IR（我们的企业不是化学法，不知对否），冶金法的因为其浓度处在ppm级别，ICP-MS或者ICP-OES都能分析，而且和GDMS或者SIMS符合得也蛮好的。
其实这个行业也谈不上忽悠，说道贪婪，估计谁都没能比得过资本家的。
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nps
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2011/3/5 13:14:57 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 regedit88888(regedit88888) 发表:
P，B怎么做？多晶硅，感觉是科技传销。贪婪的砖家忽悠贪婪的老板们的钱。


如果想测多晶硅中的B、P，请参考《GB/T24581-2009 低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的测试方法》；如果想测三氯氢硅中的B、P，那就自己想办法吧，现在还没有行业标准和国家标准。
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