谢谢大家畅所欲言。
第一:我将另一台
气相的气源(正常)换过来后发现也没有点着,说明与气体纯度没有关系。
第二:我的气体发生器上是显示流量的,我在调节仪器流量时,发现气体发生器的流量显示与我调节的数值是差不多的,所以EPC流量控制也应该是没有问题的。
第三:我点火时将尾吹关了的,然后用打火机点火也是不着的,而且自动点的时候点火丝我又往外拉了拉(它是红的,看起来很明显),而且就在点火的瞬间我拿扳手看的话是有水气的,这证明点火丝应该也是没有问题的。
最后:我让安捷伦工程师上门吧,现在正在等报价,等工程师修好了再给大家分享呀。呵呵