原文由 心晴2003(v3045622) 发表:
请问XEI是否有配套FOT(飞行质普仪)使用的plasma cleaner?之前在美国有见过,FOT上使用等离子清洗仪,效果还蛮好。是否可以通Ar气,它的清洗距离及法兰接口大小。我们的FOT法兰为是标准接口,是否可以订做?
国内化学所骆老师课题组已经使用我们设备和他们自己的飞行质谱设备,美国也有很多用户比如GE通用电气研发中心,柏克林国家实验室,下面是一张类似照片,这款设备虽然很多应用是基于扫描电镜SEM,透射电镜TEM,如果基本上是可以通用于所有高真空系统的