【原创】如何摆脱电镜污染物? ( 电镜用户必看之维护篇 )

lich_dc

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2012/5/1 21:09:51 85楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 gohope(gohope) 发表:
这个装置在TESCAN FE-SEM上是选配件之一。

清洁操作通过软件控制，而且软件嵌合在SEM的软件中。

楼主，不好意思，借你的地方广告了一下。

嗯只要是场发射,FIB,TEM等高端系统防污染装置应该是必需的系统的。

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tt5432

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2012/5/9 16:59:01 86楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

好啊！以前还不知道呢？

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lich_dc

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2012/5/18 20:53:05 87楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 tt5432(tt5432) 发表:
好啊！以前还不知道呢？

随着电镜领域的发展，如何好的维护系统和如何买个好的系统同等重要了。特别是高端系统，污染问题越发严重

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cnfvmqj

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2012/5/21 23:40:10 88楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

好东西！多少钱啊！

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2012/5/22 18:32:25 89楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 cnfvmqj(cnfvmqj) 发表:
好东西！多少钱啊！

有给透射用的，有给扫描和FIB用的，你可以直接联系他们厂家代理商 www.micro-nanotech.com 溢鑫科创科技有限公司

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2015/5/11 10:33:31 Last edit by lich_dc

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2012/5/27 15:24:48 90楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

对于环境扫描或者超低真空技术而言：

长期工作在ESEM或VP 模式，样品室内的水蒸气可以认为是个"污染源" 。样品室内温度最低的是能谱探测器，水蒸气会使探测器晶体结冰。探测器接近样品，超薄窗口表面会有水或油滴凝集，使窗口增厚，探测轻元素的灵敏度下降。样品室内的其他零部件，例如闪烁体、物镜极靴和样品工作台都会受影响。如果有油污染后果更严重。

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suf0801

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2012/6/18 21:51:09 91楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

开发者的初衷是好的，但是这个对样品损伤太大，有刻蚀的效果，不少老师没用在清洗上，而是用在了样品刻蚀氧化上了

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2012/6/20 23:20:43 92楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 suf0801(suf0801) 发表:
开发者的初衷是好的，但是这个对样品损伤太大，有刻蚀的效果，不少老师没用在清洗上，而是用在了样品刻蚀氧化上了

嗯，您的这种说法也是一个普遍问的问题

不过此离子非彼离子。离子减薄仪的离子，FIB的离子，以及现在最新用于刻蚀He,Ne离子都是不同离子

比如用于透射以及透射样品杆的话，你就可以选择Ar, O2, H2 和 N2 多种清洁，比较建议使用O2(5.1eV)和N2(9.1eV)的混合

您说的样品刻蚀请查下是多少能量？也可以查下现流行的离子减薄仪最低是多少能量？你就很直观有个对比了

现这个产品国内扫描电镜和FIB上使用客户已经上了60套，没有反应对样品损伤。

希望能解决你的顾虑。如有问题我们可以再详谈

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