主题:请教力曲线和成像质量的问题

浏览0 回复7 电梯直达
iceriver_99
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力曲线跳动比较大,有时下面的曲线尖端出现平台,此时针尖处于什么状态?局部的细节,有时能扫出来,有时扫不出来,什么原因?Z center position的位置跳动比较大,并向一侧偏,时间长了就超出范围,怎么回事?
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清风侠
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原文由 iceriver_99 发表:
力曲线跳动比较大,有时下面的曲线尖端出现平台,此时针尖处于什么状态?局部的细节,有时能扫出来,有时扫不出来,什么原因?Z center position的位置跳动比较大,并向一侧偏,时间长了就超出范围,怎么回事?

给出一张图片吧!
iceriver_99
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1中压痕裂纹左上部的细节可以看到,细的条纹。
2中就看不到1中的细节,但是可以看到下面的细节,有时什么都看不到,是那个参数的问题,我调过增益值,但是没什么变化?这两张图都是deflection图像,为什么要比Height图清晰呢?到底那个反映的才是真实的形貌?

清风侠
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这哪儿是力曲线?文不对题!不能用defelection来测量样品,用height吧!
iceriver_99
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可是Height图不如deflection清晰啊?deflection图有什么用呢?我问的是图像的细节问题,力曲线 的图像现在没在手头。
duwf
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对DI的设备不是很了解,想问一下deflection模式是测得什么信号?
另外我觉得对于SPM的图像,不能只看一两张图就下结论。提到的两张图中的细小的周期性条纹不一定是真实的东西。应该改变扫描范围,扫描速度等参数,看看是不是还能观察到,是否一致。
至于图像质量,选择好的针尖,降低扫描速度,适当加大增益和反馈,还有一些其他手段都有可能改善,是不是真的有用还要试了才知道。另外还要考虑样品性质。
iceriver_99
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细小的条纹就是我要找得东西,关键是又时能扫出来,有时不能扫出来,样品本身没有问题。
清风侠
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原文由 duwf 发表:
对DI的设备不是很了解,想问一下deflection模式是测得什么信号?

deflection也有人称为error image。误差信号,偏差信号等等,反馈关闭或者增益参数跟不上时这个型号强,一般不采用!
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