主题:【咨询】我想买紫外光刻机上的吸气泵,大家有什么建议?

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dengzhixian
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各位兄弟姐妹,
      我们实验室买了一台紫外光刻机,但是没有买配的真空泵,我需要采购一台用来吸掩膜板和基片
的吸气泵,请问买什么类型,多大力量的合适。有没有在用的告知一下效果?
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dengzhixian
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在百度上查到两个厂家,应该在它们的产品中有可能,但是我需要多大的吸力的呢?
    http://www.ruiyi.net/introduce.html
    http://www.18show.cn/zt428225/default.html
其他的厂家也很多,类型大概和它们网站的差不多。
有没有购买经验的工工们啊
主要是那个吸气泵要多少kpa的,是不是越大越好,同级别中
happyalife
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柬江
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