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原文由 w4m0330(w4m0330) 发表:原文由 zrl1708(zrl1708) 发表:原文由 w4m0330(w4m0330) 发表:原文由 200422126(200422126) 发表:
厚度测量用等厚条纹的误差有多大？和CBED相比哪个更精确呢？
如果样品是比较均匀的wedge-shape，wedge夹角不太大（比如30度以上）的话，等厚条纹精度基本上可以测量50-250nm范围内精度大约10-20nm吧，如果可以做动力学衬度模拟的话，精度可以提高到3-5nm左右。材料不同范围和精度也会有些变化吧，大概就是这样子。因为我只是估计一下厚度而已，20nm的精度差不多够用了。
CBED没有做过。貌似也要做模拟
请问你说的动力学模拟是具体怎么做。CBED我看文章，就是麻烦，工作量大。如果用等厚条纹误差不大的话，我觉得还是这个比较适合大量的统计。
大量统计的话，厚度条纹是不错的方法，一张照片范围大，实验工作要少的多。
想提高精度动力学模拟是个很麻烦的东西，现成的程序，我知道的有SIMCON，是Fortran写的，UNIX运行，PC平台下我没有试过。PC下，JEMS有一个功能简单的Howie-Whelan模拟，功能有限，而且JEMS是商业软件。再另外，就得自己写代码了，更麻烦。
体积计算契形长方形都可以啊，均匀契形的中央厚度就等于长方形的高嘛。
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