主题:【讨论】影响等离子体温度的因素?

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依风1986
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影响等离子体温度的因素?
该帖子作者被版主 tang5662积分, 2经验,加分理由:年末发帖鼓励
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原文由 tang566(tang566) 发表:
进样量和等离子气流量等。


流量大,中心管温度减低,除此之外,还有其他什么好的意见?
砂锅粥
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依风1986
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原文由 砂锅粥(czcht) 发表:
RF功率有无影响?


功率的大小应该是影响等离子体温度的吧!
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