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主题：【分享】STEM下纳米尺度特征的元素面分布图

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毒菇九剑
sshlxf
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2013/2/27 13:22:33 42楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 天黑请闭眼(shxie) 发表:
原文由 毒菇九剑(sshlxf) 发表:
SEM上的STEM也是有可能做到的。年前听说硅所用SEM上的STEM+80mm2的能谱得到几个nm的空间分辨率的Mapping结果，过两天抽空去看看。之前见到他们做的十几个nm的Mapping，还是很容易的，比TEM 的STEM操作要简单。


但只能用STEM，用通网做载体吧？


是的 放在铜网上的 30kV。

个人感觉只是做Mapping的话未必一定要STEM。 您可以在您的FEGSEM上试试

SEM上的能谱立体角比TEM的大 信号要强很多 用铜网装样品 就可以避免厚样品因为高加速电压带来的X射线作用体积的扩散 空间分辨率可以大幅提高
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