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主题：【讨论】ISQ前级泵的压力

浏览0 回复10 电梯直达
20070908li
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发表于：2013/02/28 12:09:41 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
ISQ,开机9小时后了显示前级泵压力为62mTorr,进行Daily tune和Leak Check,成功通过。
但是检查10-100和50-650后，压力变为78mTorr，年前压力一直是52mTorr，这种情况正常吗？有人能够指导一下不？十分感谢。
今天还进了一个样品，出峰正常，还没发现问题。
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2013/2/28 13:20:18 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
年前压力一直是52mTorr，现在78mTorr，之间是不是做了维护，所以提高了。
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蓝是那么的天
matt_zheng
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2013/2/28 14:08:58 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
泵油有换吗？一般前级泵的压力实在前级泵和分子泵之间管路的压力，对于测试的影响并不大。
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2013/2/28 18:12:19 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 tang566(tang566) 发表:
年前压力一直是52mTorr，现在78mTorr，之间是不是做了维护，所以提高了。


没做维护，上次关机了，到再开机的时候是62mTorr,就检查了空气水峰和本底后升到了78mTorr，目前还是保持在78mTorr,仪器的其他地方暂时没发现问题。请问这个数值的高低有没有影响？
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2013/2/28 18:15:45 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 蓝是那么的天(matt_zheng) 发表:
泵油有换吗？一般前级泵的压力实在前级泵和分子泵之间管路的压力，对于测试的影响并不大。


没有换泵油，但是工程师说一般的话最好在80mTorr以下，这个真没影响的？
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蓝是那么的天
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2013/2/28 19:06:24 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 20070908li(20070908li) 发表:
原文由 蓝是那么的天(matt_zheng) 发表:
泵油有换吗？一般前级泵的压力实在前级泵和分子泵之间管路的压力，对于测试的影响并不大。


没有换泵油，但是工程师说一般的话最好在80mTorr以下，这个真没影响的？


影响测试的真空是离子源、质量分析器和检测器的真空度。
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florius
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2013/2/28 21:01:07 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
楼主有没换过色谱柱？
如果没有换过，那这样说明质谱仪存在漏气，建议检查一下气质接口处的vsper隔垫螺母是否紧固？
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symmacros
jimzhu
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2013/2/28 21:22:57 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
除漏气之外，请问载气流量改变过吗？
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20070908li
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2013/3/4 20:43:19 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 symmacros(jimzhu) 发表:
除漏气之外，请问载气流量改变过吗？


今天问过工程师了，原来是因为载气流量变化了，导致压力的变化。O(∩_∩)O谢谢
该帖子作者被版主 jimzhu加 2积分， 2经验，加分理由：谢反馈。
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2013/3/4 20:45:17 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 florius(florius) 发表:
楼主有没换过色谱柱？
如果没有换过，那这样说明质谱仪存在漏气，建议检查一下气质接口处的vsper隔垫螺母是否紧固？


今天问过工程师了，原来是因为载气流量变化了，导致压力的变化。O(∩_∩)O谢谢
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symmacros
jimzhu
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2013/3/4 20:56:18 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 20070908li(20070908li) 发表:
原文由 symmacros(jimzhu) 发表:
除漏气之外，请问载气流量改变过吗？


今天问过工程师了，原来是因为载气流量变化了，导致压力的变化。O(∩_∩)O谢谢


不同的柱流量的真空度是不同的。
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