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主题：【求助】赛默飞世尔DSQ 涡轮泵、漏气故障，请帮分析

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whhl12345
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发表于：2013/04/22 23:23:31 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
赛默飞世尔DSQ    tune软件里的vacuum下的

turbo pump：fault

vacuun：fault

开机正常，但是过十多个小时这两项就不正常了。

再关机开机正常，过一段时间又不正常了，请教故障原因都有那些可能，涡轮泵的可能性大吗？漏气？

前级压力正常时是40左右，tune下开灯丝，水、氮 TIC：5.0e+8  左右
出现问题时
turbo pump：fault
vacuun：fault
前级压力几千。
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ruan651209
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2013/4/23 6:51:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
前级真空值是多少？变化大不？

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tang566
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2013/4/23 7:37:09 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
开机一段时间后不正常，查一下，是不是漏气造成的。
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whhl12345
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2013/4/23 10:31:31 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
前级压力正常时是40左右，tune下开灯丝，水、氮 TIC：5.0e+8  左右
出现问题时
turbo pump：fault
vacuun：fault
前级压力几千。


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ruan651209
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2013/4/23 10:31:37 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果大漏气(有一次前级真空一直在900 MTORR)，前级泵不会启动。
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2013/4/23 10:34:41 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
前级压力几千，相当于上百微米的孔直通大气。

色谱柱子靠传输线位置有无异常？
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whhl12345
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2013/4/23 10:42:40 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
应无异常，不过今天刚换了柱子传输线端的石墨垫，再看看吧。

由于是新手，以后会有很多问题咨询大家的，希望大家多帮忙呀。
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2013/4/23 10:46:33 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 ruan651209(ruan651209) 发表:
前级压力几千，相当于上百微米的孔直通大气。

色谱柱子靠传输线位置有无异常？


前级压力大是不是因为机器本身保护，进行关闭涡轮泵的结果？

主要问题出现不是刚开机就出现，而是过一段时间（一天、十多个小时）
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ruan651209
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2013/4/23 13:54:09 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 whhl12345(whhl12345) 发表:
前级压力大是不是因为机器本身保护，进行关闭涡轮泵的结果？

主要问题出现不是刚开机就出现，而是过一段时间（一天、十多个小时）


正常关机过程中，前级压力基本不变。
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千层峰
jxyan
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2013/4/23 15:45:30 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
检查进样口和柱子两端具有否漏气，
把柱两头螺母拧紧
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whhl12345
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2013/4/24 17:52:15 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
情况再次出现，怎么办呀
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