主题:[新手求助] 扫描电镜SEM 验收?

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Snow
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请教各位高手,扫描电镜SEM 验收时要注意哪些地方?
准备要验收的电镜型号是FEI Quanta Inspect, EDS 是Inca Energy 250.
谢谢先!

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alexzhtang
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扫描电镜安装完毕后,主要是验收两个指标,一个是分辨率,看能否达到它标称的分辨率;另一个是验收放大倍数的误差,一般误差不超过8%。能谱主要是验收它的分辨率,看能否MnK小于133Kev,CK小于66Kev。还有是验收它的计数率,看它的的最大计数率能否达到5万。
Snow
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原文由 alexzhtang 发表:
扫描电镜安装完毕后,主要是验收两个指标,一个是分辨率,看能否达到它标称的分辨率;另一个是验收放大倍数的误差,一般误差不超过8%。能谱主要是验收它的分辨率,看能否MnK小于133Kev,CK小于66Kev。还有是验收它的计数率,看它的的最大计数率能否达到5万。


  Alexzhtang!Thanks very much for your kindly help!

另外想请教一下各位,如果厂家说实验室磁场/振动等不符合验收的标准,这时候如何验收“标称的分辨率“?
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Last edit by xuemeiguo
alexzhtang
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电镜在房间改造之前仪器厂家会来实验室测试房间的磁场,一般实验室都会提供几个房间,仪器厂家测试后会给你一个建议,所以在电镜验收的时候不会出现磁场不合格而影响分辨率的。就是影响了也是仪器厂家的问题。在安装的时候没有选好合格的地方。
Snow
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呵呵,我们公司是工厂,好像没有地方不振动的!厂家测试过,有做了防震桌!但产家说得降低验收标准,我也不知道,这个降低是什么底线?嗬嗬,头疼!
xiechende1983
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Insp_2c57f38f
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