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主题：【求助】怎么做Pt溅射镀膜厚度检查

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2013/9/24 15:37:56 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我听说比较准确的方法：精密天平称量溅射金属膜质量（已知面积玻璃片，溅射前后质量差），然后计算厚度。
他们搞镀膜的，在校正镀膜设备参数时候，都这么干。
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2013/9/24 19:39:36 12楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 韩国COXEM(SH102573) 发表:
我听说比较准确的方法：精密天平称量溅射金属膜质量（已知面积玻璃片，溅射前后质量差），然后计算厚度。
他们搞镀膜的，在校正镀膜设备参数时候，都这么干。

好办法! 这么简单易行的办法我怎么没想到!!!
斑竹, 请给这个贴加十分~
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韩国COXEM
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2013/9/26 8:33:51 13楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 iangie(iangie) 发表:
原文由 韩国COXEM(SH102573) 发表:
我听说比较准确的方法：精密天平称量溅射金属膜质量（已知面积玻璃片，溅射前后质量差），然后计算厚度。
他们搞镀膜的，在校正镀膜设备参数时候，都这么干。

好办法! 这么简单易行的办法我怎么没想到!!!

斑竹, 请给这个贴加十分~


这个方法对于一般理化实验室，简单易行。
闻道有先后，不必客气
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