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X射线荧光光谱仪（XRF）

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仪器社区 > X射线仪器 > X射线荧光光谱仪（XRF）帖子详情

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主题：多层涂镀层厚度测量用什么仪器

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koz8

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发表于：2014/03/17 18:28:36 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

悬赏金额：10积分状态：未解决

基体是陶瓷，陶瓷上有层钼和锰的氧化物层，厚度10UM--50多UM，外层是镍层，厚度是1-10UM，请问用什么仪器可以测两层或多层厚度，暂时我了解了X荧光测厚仪，换有别的仪器可以测量吗

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2014/3/18 8:15:23 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

目前xrf应用能满足你的要求吗你的那层钼和锰的氧化物层会对你的光谱产生干扰吗

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fengyinqiao

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2014/3/18 8:43:52 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

你可以做个陶瓷截面的金相样，用显微镜或是电镜拍照测量

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wish721

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2014/3/18 10:25:09 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

一般我们剖开，拍截面~~电镜尺寸也是经过校准的~~~

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wuxide1314

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2014/3/18 10:50:38 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

截面扫描电镜做我公司做的是放大1-10万倍的扫描电镜

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郎当

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2014/3/19 15:40:41 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

如果用扫描电镜测量，那跟X射线荧光测厚仪测出的效果误差不是在一个数量级的，推荐使用X射线的来测。有需要的话可以私信我

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loaferfdu

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2014/3/20 9:46:32 6楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 koz8(koz8) 发表:

基体是陶瓷，陶瓷上有层钼和锰的氧化物层，厚度10UM--50多UM，外层是镍层，厚度是1-10UM，请问用什么仪器可以测两层或多层厚度，暂时我了解了X荧光测厚仪，换有别的仪器可以测量吗

10um镀层使用XRF测厚仪没有问题，但是50um的Mo、Mn氧化物层，对于大多数XRF测厚仪来说，可能太厚了。或者简单一点说，XRF测厚仪可能不能对应这种样品。

当然以上是理论推测，供参考。也许上面诸位都在使用SEM像的方式更适合您。不过SEM可能比较费时间一点，不像XRF测镀层厚度，一两分钟一个样品就搞定了。

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v2755642

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2014/3/27 16:03:33 7楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

50um的氧化层用XRF测的话，需要多沟通做好标定了试试才晓得测量效果怎样。镍层没有任何问题。

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wdy99

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2014/4/3 22:11:53 8楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 loaferfdu(loaferfdu) 发表:
原文由 koz8(koz8) 发表:

基体是陶瓷，陶瓷上有层钼和锰的氧化物层，厚度10UM--50多UM，外层是镍层，厚度是1-10UM，请问用什么仪器可以测两层或多层厚度，暂时我了解了X荧光测厚仪，换有别的仪器可以测量吗

10um镀层使用XRF测厚仪没有问题，但是50um的Mo、Mn氧化物层，对于大多数XRF测厚仪来说，可能太厚了。或者简单一点说，XRF测厚仪可能不能对应这种样品。

当然以上是理论推测，供参考。也许上面诸位都在使用SEM像的方式更适合您。不过SEM可能比较费时间一点，不像XRF测镀层厚度，一两分钟一个样品就搞定了。

有道理，X射线穿不了这么厚，看看台阶仪和椭偏仪（不了解，也测厚）

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