原文由 koz8(koz8) 发表:
基体是陶瓷,陶瓷上有层钼和锰的氧化物层,厚度10UM--50多UM,外层是镍层,厚度是1-10UM,请问用什么仪器可以测两层或多层厚度,暂时我了解了X荧光测厚仪,换有别的仪器可以测量吗
原文由 loaferfdu(loaferfdu) 发表:原文由 koz8(koz8) 发表:
基体是陶瓷,陶瓷上有层钼和锰的氧化物层,厚度10UM--50多UM,外层是镍层,厚度是1-10UM,请问用什么仪器可以测两层或多层厚度,暂时我了解了X荧光测厚仪,换有别的仪器可以测量吗
10um镀层使用XRF测厚仪没有问题,但是50um的Mo、Mn氧化物层,对于大多数XRF测厚仪来说,可能太厚了。或者简单一点说,XRF测厚仪可能不能对应这种样品。
当然以上是理论推测,供参考。也许上面诸位都在使用SEM像的方式更适合您。不过SEM可能比较费时间一点,不像XRF测镀层厚度,一两分钟一个样品就搞定了。