主题:多层涂镀层厚度测量用什么仪器

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whoami
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原文由 大张(v2760291) 发表:

只要有标样 用XRF还是应该能搞定的,但是一定要用上照式的,下照式的吃力也不够准确


如果X射线不能穿透镀层的话,不管是上照式还是下照式都没用。

镀层的厚度对X射线来说如果已经达到了”无限厚“,还能再测量厚度吗?我想也没有这样的标样吧。
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xrf做不了 厚度太厚了 一般能做到30-50之间 再后打不透的
攻昶阳宇
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50多um的用下照式难度就大了,用上照式可以试一试。不过用XRF测的话标样这个问题就麻烦了,要有厚度还的有氧化物层的含量比例,调试过程比较繁琐,不过调好了能满足的话就一劳永逸了。
电镜可能偏差会比调好的XRF要大
ufoliulong1988
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leowang1029
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2015/11/3 17:14:08 Last edit by yue_qiu
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