主题：【已应助】急求6300中200NM以下波长下降得很多，我应该从什么方向处理

原文由 ldxinli(ldxinli) 发表:
是所有方法中所选的谱线，200NM以下波长的都比以前下降一半左右，刚买了一年，这属于正常吗

原文由 l552915721(l552915721) 发表:
会不会是光路的问题啊·我们曾经遇到过类似的状况 是光室的反光镜出现问题

原文由 ldxinli(ldxinli) 发表:
前一阵子200以下波长还算正常，尽管灵敏度低，线性还好，但现在200以下波长的下降了一半以上，我们清洗了进样系统及POP窗，各波长的灵敏度都有不同程度的提高，但是200以下的依然没有改善，这是怎么回事，大家有碰到过吗，应该如何处理，谢谢了

原文由 xiaoxun929(xiaoxun929) 发表:

原文由 ldxinli(ldxinli) 发表:
前一阵子200以下波长还算正常，尽管灵敏度低，线性还好，但现在200以下波长的下降了一半以上，我们清洗了进样系统及POP窗，各波长的灵敏度都有不同程度的提高，但是200以下的依然没有改善，这是怎么回事，大家有碰到过吗，应该如何处理，谢谢了

估计是检测器的问题，CID检测器对200nm以下是无响应的，200nm以下是靠涂层转换过来的，建议联系工程师检查下检测器CID系统。

原文由 xiaoxun929(xiaoxun929) 发表:

原文由 ldxinli(ldxinli) 发表:
前一阵子200以下波长还算正常，尽管灵敏度低，线性还好，但现在200以下波长的下降了一半以上，我们清洗了进样系统及POP窗，各波长的灵敏度都有不同程度的提高，但是200以下的依然没有改善，这是怎么回事，大家有碰到过吗，应该如何处理，谢谢了

估计是检测器的问题，CID检测器对200nm以下是无响应的，200nm以下是靠涂层转换过来的，建议联系工程师检查下检测器CID系统。

原文由 showmethemoney(showmethemoney) 发表:
你首先要确定是200nm以下，还是190nm以下或者其他？ 拍个全谱图看一看，能看到174nm附近的4个氮线么？如果能看到，那么CID的响应就没有问题，应该是照明光路的问题，需要重新做一下矩管准直。如果是这种情况，因为热电是分段曝光，应该不止200nm以下变弱，只要用UV-slit的波长都要变弱，具体是级次>300的波长。如果174nm四条谱线一点都看不到，那么可能是光室吹扫出了问题。