主题:强烈建议创办一个MBE(分子束外延)版

浏览0 回复22 电梯直达
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silva
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六脉神剑
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分子束外延更是一种材料生长的方法。由于衬底选择得与外延材料的晶格常数相匹配所以会安装衬底晶格方式生长外延材料晶体。比如我以前读博时的导师和实验室就做这方面的工作。他们一般在蓝宝石上外延半导体材料。
外延又分为同质外延和异质外延。
看来楼主的理解还有待深入啊!
这里只是探讨,同时也祝本版繁荣发展!
六脉神剑
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中国科学院物理研究所有这方面的工作,我想想……他们好像是已经在研究器件方面的应用了吧?!
记得不是很清楚。
taojianan
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wukemin
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coolca
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顺便请教一下楼主,我是用化学方法来准备复合金属氧化物薄膜,现在我们也想在不同的基片上做一些工作,我的问题是:
1. 如果只沉积数百层的膜,测试XRD的时候会不会测出MgO的特征衍射峰
2.用这种方法制备复合金属氧化物薄膜对比其它的物理方法如PLD等有什么优点?如果想制备取向性的复合金属氧化物薄膜用那种方法最好。
谢谢楼主。
allen360
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walterbai
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SVT 分子束外延设备 
SVT 分子束外延设备
  SVT事务所是一家领先的超高真空设备(真空)和分子束外延设备开发和制造的公司。  SVTA还制作了国家最先进的III - V族外延材料和器件,现场监测工具,系统沉积组成部分。
  我们还SENTECH仪器全面服务的经销商及其系列的等离子工艺技术装备和椭产品的化合物半导体市场。
  
  SVT协会,公司 。致力于各个方面的半导体材料研究和制造。 自1992年以来,我们已经送达的需要,分子束外延和真空沉积社区,以及电信和光电产业,通过提供专门设备和服务有关的化合物半导体器件技术。 除了我们的销售沉积的分子束外延系统和部件,外延服务和设备开发可用。




  SVT协会提供Sentech仪器产品和服务在北美市场。 我们提供经验丰富和高素质的本地销售应用支持和维护的全系列的计量和等离子体处理技术设备。
  SENTECH 仪器开发,制造及销售先进的质量仪器, 计量薄膜 (反射,椭偏仪,光谱椭)和等离子工艺技术 (等离子蚀刻,离子镀系统) 。
  等离子体处理技术设备是用于高精度蚀刻和层沉积在半导体和微系统的应用。
分子束外延系统
分子束外延(外延)是一项关键技术,使研究和制造技术,半导体材料和设备。 由于日益增加的需求,通信带宽和芯片的密度,设备制造依靠准确的三维和质量控制,分子束外延规定。  SVTA分子束外延系统提供的超纯净的环境,精密制造各种各样的薄膜结构,微电子,光电,和磁应用。 SVTA分子束外延系统是专为他们的材料制作。 在分子束外延系统都配备了硬件和软件的能力,以监测,显示和控制关键的生长参数。
  SVTA系统的设计,模块化配置组成的几个职能单位。 模块化系统的概念是一种灵活和可靠的方式适应不同客户的需求。 通常情况下,至少有两个独立的模块,一个用于沉积过程和一个晶圆装货/样品制备。还有其他的处理模块,如集束工具,晶圆切割工具和材料分析模块,可以说这取决于客户需要。每个模块都有自己独立的超高压泵系统,可以脱离其他模块的闸阀。 这种安排可以执行各种系统功能,并兼任独立:基板装载,样品处理,薄膜生长,并取样分析。
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