主题：【原创】JEOL2010操作（英文原版翻译）界面内容就省了，对于操作过的，应该非常了解

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剑戬之

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发表于：2014/12/14 16:45:25 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

JEOL2010操作（英文原版翻译）

对中

1、移开所有光阑，打开FILAMENT ON产生加速电压，设置束斑和会聚角TEM1-3；

2、视场选择

a) 打到LOW MAG，扩展电子束斑，通过SELECTRO选择合适倍数；

b) 通过滚球移动样品上想要观察区域；

c) 打到MAG1；

3、插入聚光镜光阑，消除聚光镜像散

a) 设置为TEM3-3；

b) 插入聚光镜光阑；

c) 通过调节BRIGHTNESS得到最小电子束斑；

Note:如果电子束最大会聚前后是椭圆形，打开COND STIG（L1）,通过调节DEF（L1、R1），使电子束会聚成圆形；关闭CONDSTIG（L1）。

4、聚光镜对中

a) 倍数20 000×，调节BRIGHTNESS得到最小电子束斑；

b) 设置为TEM1-3；

c) 打开DEFLECTOR-GUN(R2)，通过SHIFT(R2)移动电子束斑至中心；

d) 设置为TEM4-3；

e) 通过SHIFT(L1,R1)移动电子束斑至中心；

f) 重复b~e，直到在TEM1-3、TEM4-3设置下电子束斑保持中心；

5、物镜电流粗调

a) 通过调节BRIGHTNESS得到最小电子束斑；

b) 打开 WOBBLER-IMAGE X/Y（R1），电子束斑此时分成两个；

c) 通过调节OBJ FOUCS，使分开的两个电子束班重合；

d) 关闭WOBBLER-IMAGE X/Y（R1）；

Note:用于消像散的小孔应该是圆的，有光滑均匀的圆周；

6、打开OBJ STIG

7、通过OBJ FOCUS 过聚焦来检查像散

在孔像过聚焦情况下，孔边缘产生黑色的Fresnel fringe;

在孔像欠聚焦情况下，孔边缘产生白色的Fresnel fringe;

如果fringe与孔边缘距离d在圆周上均匀，则不存在像散；

Note：如果fringe与孔边缘距离d太大，则很难检查像散；d应该小到足以分辨；

8、调节DEF-X和Y(L1、R1)，使fringe与孔边缘距离d在圆周上均匀；

9、再次检查像散（7），通过8消除；

Note:如果物镜光阑或样品不洁，或物镜光阑不在光轴位置，或电压中心设置不合适，很难消除像散；

10、关闭OBJ STIG

聚焦

通过Fresnelfringe来聚焦（WOBBLER是也一种聚焦）；

在低倍下，通过像WOBBLER很容易聚焦，但在高倍下，通过Fresnel fringe很容易聚焦。

1、调节Z（R1）粗调得到明锐的像；

2、当双目镜观察得到很好衬度像时，通过OBJ FOUCUS-FINE轻微逆时针和顺时针调节，得到正焦像；

3、通过OBJ FOUCUS-FINE得到正焦或轻微欠焦像（正焦位置轻微逆时针）；

4、 Note：如果像的衬度非常低，打到相对低的倍数，通过WOBBLER聚焦或通过OBJ FOUCUS-FINE得到衬度最小的像（几乎接近正焦）（过焦位置顺时针）；

高分辨成像

1、电子束的发散角必需足够小；50、70的会聚光阑；2~4s曝光时间；

会聚角：3-所有倍率；2-100 000×以上倍率；1-500 000×以上倍率；

2、电压中心必需合适对中；WOBBLER-HT(R1)；

3、物镜光阑必需插入合适；

Note:2、3情形差不多，孔成像不可分辨，背底结构出现单向性，边缘模糊；

4、物镜消像散必需彻底

如果存在像散，由孔边缘的Fresnel fringe确定；消像散的倍数要高于拍照的倍数；一旦高倍进行了消像散，低倍就不需要再进行像散；100 000×倍以上；

5、样品必需牢固

Imagedrift; 现象同2、3；

6、成像必需合适聚焦；高倍时，微调聚焦拍照，得到最佳聚焦像；

特殊观察

低倍成像

1、对中（第一页）；

2、移开聚光镜光阑和选区光阑；

3、打开LOW MAG；扩展电子束斑；

4、通过SELECTRO选择合适倍数；

5、电压中心对中

a) 打开WOBBLER-HT和DEFLECTOR-BRIT TILT；

b) 通过DEF-X和Y(L1、L2)对中电子束斑；

c) 关闭WOBBLER-HT和DEFLECTOR-BRIT TILT；

6、检查像散

a) 打开OBJ STIG；

b) 打开WOBBLER-IMAGEX（R1），通过OBJ FOUCS聚焦；

c) 关闭WOBBLER-IMAGEX（R1），打开WOBBLER-IMAGE Y（R1）通过OBJ FOUCS聚焦；如果像是叠交的，进步骤7消像散；如果像是重合的，进行步骤8；

7、消像散

a) 调节DEF-Y(R1)，使在IMAGE Y(R1)打开时，叠交的像变成重合稳定的像；

b) 调节DEF-Y(R1)，使在IMAGE Y(R1)打开时，叠交的像变成重合稳定的像；

c) 重复a~b，直到在a、b都是重合稳定的像；

8、关闭OBJ STIG(L1)和IMAGE X 和Y（R1）

9、为提高像的衬度，插入选区光阑；

a) 通过SELECTOR减小倍数；

b) 对中光阑；选合适光阑大小；对中；

10、通过Image wobbler聚焦，然后拍照；

暗场成像

1、对中（第一页）；

2、打开SAM/ROKC；通过SELECTOR选择合适倍数；

3、选择观察区域，聚焦；

4、移开物镜光阑，插入选区光阑到观察区域；

5、打到DIFF，电子束斑扩展；得到衍射花样；

6、设置像机长度在40~120cm;

7、调节DIFF FOCUS聚焦，得到明锐的衍射斑点；

8、打开DEFLECTOR-PROJ，调节SHIFT（R2），中心透射班移到中心；（挡针）

9、打开DEFLECTOR-DARK TILT；设置DEF-X和Y到中心位置；

10、调节DEF-X和Y，精确地使观察衍射班位于荧光屏中心；

11、插入物镜光阑，精确地套住衍射斑点；物镜光阑像可以通过DIFF FOCUS聚焦；

12、关闭SAM/ROKC，暗场像可以得到；明场像可以通过简单地打开DEFLECTOR-BRIT TILT实现；

13、移开选区光阑；

选区衍射

1、对中（第一页）；

2、打开DIFF；设置相机长度为200cm；

3、调节DIFF FOCUS得到明锐的透射斑；如果不在屏幕中心，通过打开DEFLECTOR-PROJ，调节SHIFT使其移至中心；

4、打开SAM/ROCK，选择观察区域并移至中心；

5、插入选区光阑

a) 选光阑；

b) 通过DIFF FOUCSB聚焦选区光阑像；

c) 选区光阑对中；

6、如果必要，拍照（选区像）；

7、移开物镜光阑；

8、打开DIFF；选择相机长度为8~200cm；

9、 Note:8~200cm-selected area electron diffracton; 400mm~8m-highdispersion electron diffraction; 33.3cm-high resolution electron diffracton;

10、通过DIFF FOCUS聚焦衍射斑点；

11、挡针挡透射斑点；

12、减弱衍射强度（BRIGHTNESS）到至临界可见，通过手动曝光；

微束衍射（micro area; nano area; converged;）

1、对中（第一页）；

2、打开MAG1；选合适的倍数；

3、精确地移动观察区域至中心，聚焦；

4、不同曝光时间下拍照；

5、 BRIGHTNESS会聚电子束斑，设置NEB的SPOT SIZE；

6、通过左右SHIFT（L1、R1）移动电子束斑到观察区域；

7、打开DIFF，选择相机长度；

8、通过调节α-SELECTOR得到理想的SPOTSIZE并改变聚光镜光阑直径；

9、打开MAG1；拍照；

10、打开DIFF，得到衍射花样；

11、通过手动曝光；拍照；