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X射线衍射仪（XRD）
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主题：【求助】求救用X-ray测薄膜厚

浏览0 回复14 电梯直达
goldfish777
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发表于：2007/04/15 09:12:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
希望哪位大虾指导下X-ray测膜厚的原理和操作。。。小弟新手。。。。。急需救命。。。
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goldfish777
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2007/4/15 10:26:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我用的是X'pert测reflectivity与omiga的函数关系，强度取lg。周期干涉条纹-kiessig条纹-这个我不太懂，谁有相关资料能共享下呀。。。小弟在此有理了。。
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XRD
huangjw
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2007/4/16 1:45:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
测量基体某一个峰的强度，有膜的强度比没膜时的强度肯定低，然后根据衍射角、膜的吸收系数来计算。
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slower
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2007/10/11 17:59:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 huangjw 发表:
测量基体某一个峰的强度，有膜的强度比没膜时的强度肯定低，然后根据衍射角、膜的吸收系数来计算。

XRD还可以测膜厚？能否讲的详细一点儿，或是提供一些资料。学习学习
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liuyuanlhfe
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2007/10/14 19:40:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
说详细点吧，用XRD怎么测膜厚？
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skyzhang521
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2007/11/14 21:13:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可以吗？
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rubyzsq
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2007/11/16 16:13:00 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 goldfish777 发表:
我用的是X'pert测reflectivity与omiga的函数关系，强度取lg。周期干涉条纹-kiessig条纹-这个我不太懂，谁有相关资料能共享下呀。。。小弟在此有理了。。


我们的仪器也是X'pert PRO，用reflectivity分析的，原理就不太懂了，两年了，没有人来侧过，我只是拿标样练着玩。
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goldfish777
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2007/11/19 9:08:00 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
老兄,能问下那里的吗?我东北大学的....
现在就我自己在做这个...难免时候有点郁闷...
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slower
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2007/11/19 20:49:00 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 huangjw 发表:
测量基体某一个峰的强度，有膜的强度比没膜时的强度肯定低，然后根据衍射角、膜的吸收系数来计算。

XRD可以计算吸收系数吗？我倒是知道用吸收系数、透射系数和反射系数计算膜厚，可是不知道XRD可以测这些数据。怎么计算呢？
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andrew82chen
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2007/11/20 15:36:00 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
XRD只是理论上可以测膜厚，实际上最好使用其他方法，除非仪器设计之处就考虑了膜厚功能，否则。。。。
XRD还可以测应力，误差非常大，我以前用Rigaku
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greek
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2008/5/29 15:13:37 12楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可以用XRD测量薄膜厚度，其基本原理是：利用掠入射X射线穿透深度很小的性质，加上摇摆探测器，根据2nd=k*lamda的干涉原理，可以看见很多的衍射小峰，根据两峰间的角差距可以计算薄膜厚度，或者进行FFT也可以计算薄厚，不过这种方法只适合测量~100nm左右的薄厚，而且精度有限
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