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主题：【求助】请教X SERIES2 和 ELEMENT 2 的区别（用于分析纯硅）

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2008/1/7 10:48:12 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fangzhen0221 发表:
我主要分析单晶硅原料，用的是瓦里安的820-MS


瓦里安的仪器究竟怎么样？一直听说没怎么见人用过。
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光哥
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2008/3/28 14:19:51 12楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 magicsoft 发表:
只知道XSERIES 2 用的四级杆质谱，ELEMENT 2 用的磁聚焦质谱。
请教一下各位师兄师姐，应该选哪种比较合适？

我们想将高纯硅酸解了以后分析硅中各杂质含量。


不知道您说的是多晶硅料呢，还是其它的比如Wafer的？笼统地来讲，两个都是需要的，X2对某些元素的分辨率是不够的。
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chauchylan
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2008/3/28 16:13:26 13楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
目前还是四极杆一统天下,磁质谱主要还是用于同位素分析吧,因为它可以同时接收,精度好...
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2008/3/28 16:41:54 14楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 chauchylan 发表:
目前还是四极杆一统天下,磁质谱主要还是用于同位素分析吧,因为它可以同时接收,精度好...


按照未来的趋势，随着样品纯度的提升，高分辨会有更大的市场
四级杆的灵敏度尚可，但是不能保证所有的元素均有相同水平的检出限，干扰还是太强
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2008/3/29 12:27:11 15楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
随着样品纯度的提高,更多是应用GD-MS或SIMS吧...
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huorenfeng
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2009/6/10 10:37:07 16楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不好意思，GD-MS，SIMS是什么？
原文由 chauchylan 发表:
随着样品纯度的提高,更多是应用GD-MS或SIMS吧...
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nps
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2009/6/10 20:49:30 17楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 chauchylan 发表:
随着样品纯度的提高,更多是应用GD-MS或SIMS吧...


GD-MS和SIMS做不了半导体级别的硅...
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