主题:【分享】新手求助:扫描电镜可以发射脉冲电子束吗?

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thb2520
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各位大侠,想利用扫描电镜的电子枪,主要是想利用脉冲电子束,请问扫描电镜本身是发射脉冲电子束吗?(逐点按一定频率扫描?)可否通过软件调整某扫描点停留时间?急需得到各位指导!多谢啦!
推荐答案:奔跑的蜗牛回复于2007/11/04
可以通过BEAMBLANKER来实现对电子束的控制,电子束曝光系统就可以做这种事情,不过不知道扫描电子显微镜的束流的强度和束斑的大小是不是能满足您的要求。
补充答案:

kapabulanka回复于2007/11/05

使用带有EDS能谱的扫描电镜试试, 用能谱控制电镜,首先扫描以下样品(为了找到样品),然后可以利用能谱进行选点照射. 能否自动发射脉冲还找不准,但可以手动控制.

毒菇九剑回复于2007/11/06

学名叫扫描电声显微镜(SEAM),宝钢是在一台EPMA上自己改造的

guolieyang回复于2007/11/08

宝钢就是在733探针上改装的。

德国工兵回复于2007/11/05

建议和BAOSTEEL分析测试中心联系一下,他们也正在搞这个课题!EPMA那边.

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奔跑的蜗牛
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可以通过BEAMBLANKER来实现对电子束的控制,电子束曝光系统就可以做这种事情,不过不知道扫描电子显微镜的束流的强度和束斑的大小是不是能满足您的要求。
kapabulanka
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使用带有EDS能谱的扫描电镜试试, 用能谱控制电镜,首先扫描以下样品(为了找到样品),然后可以利用能谱进行选点照射. 能否自动发射脉冲还找不准,但可以手动控制.
huangtao0307
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好像不行哦﹗你用的是什么機子啊﹗日本電子的嗎﹖﹖
thb2520
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原文由 chenjianfeng 发表:
可以通过BEAMBLANKER来实现对电子束的控制,电子束曝光系统就可以做这种事情,不过不知道扫描电子显微镜的束流的强度和束斑的大小是不是能满足您的要求。

最近也和文献作者联系了一下,确实他们也是在利用这个技术来实现的,谢谢您的建议!
thb2520
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原文由 kapabulanka 发表:
使用带有EDS能谱的扫描电镜试试, 用能谱控制电镜,首先扫描以下样品(为了找到样品),然后可以利用能谱进行选点照射. 能否自动发射脉冲还找不准,但可以手动控制.

我阅读了电镜的说明书,看来不加Beam blanking system的情况下,似乎只能这个样子了,谢谢建议!
德国工兵
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原文由 thb2520 发表:
各位大侠,想利用扫描电镜的电子枪,主要是想利用脉冲电子束,请问扫描电镜本身是发射脉冲电子束吗?(逐点按一定频率扫描?)可否通过软件调整某扫描点停留时间?急需得到各位指导!多谢啦!
建议和BAOSTEEL分析测试中心联系一下,他们也正在搞这个课题!EPMA那边.
毒菇九剑
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学名叫扫描电声显微镜(SEAM),宝钢是在一台EPMA上自己改造的
guolieyang
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原文由 guolieyang 发表:
宝钢就是在733探针上改装的。

多谢您的建议!
磨剪子嘞 锵菜刀
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选择有blanker和spot模式的电镜。
通常blanker可以控制在ns级
目前电镜都是带有点扫描功能的
如果实在困难可考虑加装图形发生器,控制电子束斑的位置。买个国产的,便宜而且足够使用!
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