主题:【求助】质谱真空度下降问题

浏览0 回复10 电梯直达
zbc229
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关机换气后, 质谱真空度由原来的10-5tor降到了10-4tor,而且抽真空过夜,也无效.

另外开软件界面提示limit fail pump oil days.

Ps:机器是三个月多一点儿的新机子.
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symmacros
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有漏气的可能性,再仔细检查一下进样垫,毛细管的连接处等地方。limit fail pump oil days提示和你的维护设定有关,可以更改时间。可以检查一下泵油的高度和干净不,再决定是否更换。
zbc229
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谢谢! 一般做样是不是要求必须达到10-5tor?

泵油基本上上限平,有一点发黄.前两个月基本上连续开机,不过工程师说可以用上半年呢.

原文由 jimzhu 发表:
有漏气的可能性,再仔细检查一下进样垫,毛细管的连接处等地方。limit fail pump oil days提示和你的维护设定有关,可以更改时间。可以检查一下泵油的高度和干净不,再决定是否更换。
abc_1982
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漏气和前级泵的泵油都有可能,个人觉得漏气的可能性大一些,前级泵也需要维护的,每周需要震气的,泵油也有好坏,不是每种泵油都能用半年的,一般的是每3月就要更换一次。
zbc229
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感谢诸位的解答,问题已经解决,确实是质谱接口漏气.

前级泵震气怎么操作?开机状态下吗? 这个不知道.

原文由 abc_1982 发表:
漏气和前级泵的泵油都有可能,个人觉得漏气的可能性大一些,前级泵也需要维护的,每周需要震气的,泵油也有好坏,不是每种泵油都能用半年的,一般的是每3月就要更换一次。
heresy
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原文由 zbc229(zbc229) 发表:
关机换气后, 质谱真空度由原来的10-5tor降到了10-4tor,而且抽真空过夜,也无效.

另外开软件界面提示limit fail pump oil days.

Ps:机器是三个月多一点儿的新机子.

你好!我的GC-MS 是最近刚维护过的。今天感觉气瓶空了。就换了一个,也是一个用过的剩下一半的氦气。然后开机就发现有limit fail pump oil days的提示,我觉得很奇怪。但是抽真空的时候很快就pump down complete了。可是我发现那个真空度的显示一直再降从4.5 *10-5tor降到了1.0*10-5很快就要10-4了。请问你是怎么解决的呢?
雾非雾
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原文由 abc_1982(abc_1982) 发表:
漏气和前级泵的泵油都有可能,个人觉得漏气的可能性大一些,前级泵也需要维护的,每周需要震气的,泵油也有好坏,不是每种泵油都能用半年的,一般的是每3月就要更换一次。


是,我们一般是三个月左右换一次泵油。
heresy
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原文由 zbc229(zbc229) 发表:
关机换气后, 质谱真空度由原来的10-5tor降到了10-4tor,而且抽真空过夜,也无效.

另外开软件界面提示limit fail pump oil days.

Ps:机器是三个月多一点儿的新机子.

我的也出现了这个问题,换了个载气瓶,然后真空度就一直往下掉。pump down很快就complete了。
然后 界面出现limit fail pump oil days。请问这个应该怎么改呢?
tulang
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limit fail pump oil days.
是在emf里设置的,泵油检查的提醒,无所谓的,取消即可,也可以另设一个日期,一般装机会设为90天。
cat115115
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如果真空度差的话,很有可能是质谱接口松了,或者是侧板有头发或者灰尘颗粒。
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