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主题：【分享】纳米几何结构标准装置——计量型原子力显微镜

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xing-xing
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发表于：2010/08/30 20:28:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊

（2007 国社量标计证字第040号）

      该装置是国内首个纳米计量标准，它是依托中国计量科学研究院长度所研制的计量型原子力显微镜纳米测量系统而建立的,而原子力显微镜的计量化是通过固接在其上的一体化无阿贝误差布局的三维激光干涉系统来实现测量结果直接溯源到激光波长和国际单位制的。该系统在测量原理、测量精度、可溯源性方面均达到了国际先进水平。
      该标准主要用于承担我院参加国际计量局组织的纳米国际比对，并为国内微电子、集成电路行业提供关键量值溯源，为科研院所的纳米研究提供技术支持等任务，为我国纳米技术的研究和生产提供了有力的技术保障。

该标准的主要技术指标为：
系统测量范围（x, y, z）＝（70μm, 15μm, 15μm）
系统测量分辨力（x, y, z）＝（1nm, 0.25nm, 0.12nm）
对台阶和线间隔类纳米几何结构参数的建标范围：
台阶类及其它垂直结构：(0～2000) nm
线间隔类及其它水平结构：(0～20)μm
对台阶和线间隔类纳米几何结构参数的测量不确定度：
台阶类：U=1nm +2×10-4×H，k=2  （H为台阶高度，H-nm）
线间隔类：U=1nm +2×10-4×L，k=2 （L为线间隔距离，L-nm）
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吉普丽儿
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2010/8/30 22:04:17 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这时提升电子集成电路技术的关键技术
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2010/8/31 16:46:19 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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这时提升电子集成电路技术的关键技术


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