前面我们说过EDXRF的--x射线管的工作原理,这里写写XRF仪器的工作原理:
X光管发射的X射线,经过滤光片后,X射线的背景射线被滤光片吸收而减弱,然后经准直器变成平行光束,照射在样品上.样品受到激发,随即产生含有被测元素的特征X射线荧光的复合光束.再经过准直器的准直进入半导体探测器,探测器本身具有能量分辨能力,可以甄别样品所有发射的不同能量特征的X射线荧光,探测器输出的信号经放大器的放大后入运算装置,由于探测器输出的信号与入射的X射线荧光的能力成正比,因此可以得到定时、定量分析的能量谱图。
工作原理图如下:
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