主题:【已应助】安捷伦 G6120B 前级泵压力过高,怎么处理

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安捷伦液质报错,前级泵压力过高,无法打开涡轮泵。(0807)
该如何处理,望各位老师帮慢处理一下。
推荐答案:卐解回复于2022/06/20
考虑两个问题,一个是否是测前级真空的传感器故障,第二个才是前级泵自身问题。可以断开真空管线,给前级泵供电运行,看一下抽气口有没有抽力就行。如果这种情况下前级泵不工作就是泵的问题,如果工作要考虑传感器问题。
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hujiangtao
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看一下是不是机械泵泵油颜色,如果时间长没换可能导致泵油杂质过多过粘稠导致堵塞
123
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sdlzkw007
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机械泵故障,包括但不限于更换泵油,镇气,清洗油雾过滤器,更换机械泵。
卐解
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考虑两个问题,一个是否是测前级真空的传感器故障,第二个才是前级泵自身问题。可以断开真空管线,给前级泵供电运行,看一下抽气口有没有抽力就行。如果这种情况下前级泵不工作就是泵的问题,如果工作要考虑传感器问题。
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原文由 卐解(v3230761) 发表:
考虑两个问题,一个是否是测前级真空的传感器故障,第二个才是前级泵自身问题。可以断开真空管线,给前级泵供电运行,看一下抽气口有没有抽力就行。如果这种情况下前级泵不工作就是泵的问题,如果工作要考虑传感器问题。
问题的根源终空于找到了,问题出现在四极杆真空腔的上盖不知道什么时候错开了一点点,密封不严造成的。可能是关机无真空状态,搬动仪器时造成的。所以仪器尽量不要随意搬动。
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