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主题：【分享】影响等离子体温度的因素有

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JOE HUI
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发表于：2022/11/27 21:25:31 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
影响等离子体温度的因素有

　　载气流量：流量增大，中心部位温度下降；

　　载气的压力：激发温度随载气压力的降低而增加；

　　频率和输入功率：激发温度随功率增大而增高，近似线性关系，在其他条件相同时，增加频率，放电温度降低；

　　第三元素的影响：引入低电离电位的释放剂(如T1)的等离子体，电子温度将增加。

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