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主题：【求助】关于离子减薄的离子束

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asherzl
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发表于：2007/11/01 10:12:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
最近要买离子减薄仪，有些公司说他们的离子束是平行的，有些说是聚焦离子束，这两种有什么区别呢？难道只在减薄的效率上有区别吗？请大家指教！
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2007/11/2 9:25:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
gatan 691 离子减薄仪是聚焦离子束的。你说的离子束平行是什么意思，我不懂。
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asherzl
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2007/11/5 8:48:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
fischione 说他的是平行离子束，可以防止过焦或散焦，困惑中。。。
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jzliu323
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2010/4/26 16:06:13 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
聚焦离子束减薄的效率高，但是容易对样品造成伤害，因为能量高，特别是对金属材料，聚焦粒子束不好使；
平行束应该就是散焦粒子束吧，效率是低，但是对样品的伤害小一些。
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zhangkunlun
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2010/4/29 13:14:47 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 jzliu323(jzliu323) 发表:
聚焦离子束减薄的效率高，但是容易对样品造成伤害，因为能量高，特别是对金属材料，聚焦粒子束不好使；
平行束应该就是散焦粒子束吧，效率是低，但是对样品的伤害小一些。


楼主说的有见解
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