【原创】做个调查：目前国内有多少用ICP-MS做硅中杂质元素的？

kiwi-kids

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2008/4/22 10:31:02 23楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 chauchylan 发表:
呵呵..用ICP-MS做硅中杂质元素的好像不是太多吧..

现在多晶硅多火啊

上市公司一沾上新能源，股票就涨
国内这两年还是上了很多项目的

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chauchylan

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2008/4/22 19:20:36 24楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

呵呵,看样子只要是做半导体的,恐怕都少不了ICP-MS吧...

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yyy_pei

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2008/5/4 15:03:37 25楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

不知三氯氢硅的测定能否用上

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highspeed_v

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2008/5/5 15:01:35 26楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

想做12N，就已经不是ICP-MS本身的问题了

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陇原孤鹰

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2008/5/5 15:05:14 27楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 highspeed_v 发表:
想做12N，就已经不是ICP-MS本身的问题了

那主要是哪方面的问题啊？能否说的详细点！

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chauchylan

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2008/5/5 18:46:40 28楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 highspeed_v 发表:
想做12N，就已经不是ICP-MS本身的问题了

首先对实验室的要求很苛刻,其次所用到的试剂吧...

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kiwi-kids

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2008/5/7 9:15:17 29楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 chauchylan 发表:
原文由 highspeed_v 发表:
想做12N，就已经不是ICP-MS本身的问题了

首先对实验室的要求很苛刻,其次所用到的试剂吧...

国外最好的试剂大部分杂质元素应该在*ppt量级左右。做12N也是非常勉强
更关键的是实验室的空气质量，颗粒度要求。

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missing12

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2008/5/7 12:20:05 30楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 fangzhen0221 发表:
我是新手，做硅中杂质元素时总测不准,有多少同仁在做这个，大家一起讨论一下。

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kiwi-kids

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2008/5/7 14:15:57 31楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 yyy_pei 发表:
不知三氯氢硅的测定能否用上

三氯氢硅也有ICPMS方法测定

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光哥

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2008/5/20 12:59:19 32楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 ziyang_z 发表:
12N的不说仪器,首先放仪器的房间就得超净间

洁净室倒不用。。。

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