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主题：【求助】高纯硅中P和B的检测方法

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光哥
xsh1234567
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2008/4/11 13:07:42 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 chauchylan 发表:
高纯硅中P和B的检测方法最好的还是用GD-MS进行分析,结果要比ICP-MS可信度高..


乱讲，实际的测试结果来看，GDMS无论是Element GD或者是VG9000，测硼的时候和其他的手段都是对不上的，尤其是多晶状态下的硅。
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kiwi-kids
zhengxxx
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2008/4/11 13:44:50 12楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 xsh1234567 发表:
原文由 chauchylan 发表:
高纯硅中P和B的检测方法最好的还是用GD-MS进行分析,结果要比ICP-MS可信度高..


乱讲，实际的测试结果来看，GDMS无论是Element GD或者是VG9000，测硼的时候和其他的手段都是对不上的，尤其是多晶状态下的硅。


GD本来就是一种半定量的手段，毕竟采样的位置局限很大啊
对于超痕量分析而言，不同的分析方法的确很难对上啊
GD之所以大家都认可，主要还是未经样品处理，理论检出限低
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chauchylan
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2008/4/11 18:17:58 13楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
GD-MS没有样品的前处理,因此沾污和损失的可能性小些,这一点对超痕分析很重要,因此个人觉得的GD-MS分析的结果较为可信吧..

当然不同的人有不同的看法...

不对的地方还望指正啊..呵呵..
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Last edit by chauchylan
chauchylan
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2008/4/11 18:27:14 14楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 xsh1234567 发表:
原文由 chauchylan 发表:
高纯硅中P和B的检测方法最好的还是用GD-MS进行分析,结果要比ICP-MS可信度高..


乱讲，实际的测试结果来看，GDMS无论是Element GD或者是VG9000，测硼的时候和其他的手段都是对不上的，尤其是多晶状态下的硅。


以后有不对的地方,还望多批评啊...呵呵..
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光哥
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2008/4/14 13:56:42 15楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 jiangyunjun3 发表:
你好,又见面了.P还好说,HF除硅后,硝酸浸取.B难处理,我们一般用发射光谱直接测定,可测Xmg/kg.


呵呵，貌似在硅业里面，硼元素的含量超过5ppm的几乎是没人要的吧？ICPOES局限性也是很大阿。
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chauchylan
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2008/4/14 18:57:46 16楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 xsh1234567 发表:
原文由 jiangyunjun3 发表:
你好,又见面了.P还好说,HF除硅后,硝酸浸取.B难处理,我们一般用发射光谱直接测定,可测Xmg/kg.


呵呵，貌似在硅业里面，硼元素的含量超过5ppm的几乎是没人要的吧？ICPOES局限性也是很大阿。


是啊..所以在高纯分析中ICP-MS显示出其重要性了..
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shangchuan
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2008/4/17 15:30:36 17楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 septyaya 发表:
在高纯硅中P和B的前处理方法,由于各种原因P和B都无法测到很好,请教P和B的前处理方法

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Last edit by shangchuan
chauchylan
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2008/4/17 18:08:09 18楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 shangchuan 发表:
原文由 septyaya 发表:
在高纯硅中P和B的前处理方法,由于各种原因P和B都无法测到很好,请教P和B的前处理方法

在成品分析中用硅棒切片用红外做分析.在生产过程中的B\P都是用ICPMS.在原料中的用ICP.样品处理很简单的,你就是要买消解的设备+冷却的设备+干净1000级以上的地方,就可以了


呵呵...谢谢分享..
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陇原孤鹰
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2008/5/5 15:36:08 19楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果只有ICP-MS的情况下如何测多晶硅中的杂质？有没有成熟的方法呀？
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hongdashengwu
hongdashengwu
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2008/5/5 15:39:55 20楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不好意思,你搜一下看看
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