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主题：【讨论】国产气体发生器对EPC的影响？

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雨木霖
mickeylin
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2011/7/20 11:43:29 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果不是用含油的气体压缩机，气泵之类的，怕也不是那么容易在气体里引入油分。

更何况气体进入气相仪器之前肯定是要接净化设备的吧？
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ting1115a
ting1115a
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2011/11/7 13:16:26 12楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不是说EPC是怕5um以上的小颗粒吗？油分也能进去吗？只要氢气发生器不返碱应该就没事吧
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