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主题：【求助】DSQ的分子涡轮泵的问题！求教

浏览0 回复6 电梯直达
zhao1hao2985
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发表于：2009/09/14 17:57:52 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
事情是这样的。上周五安装UPS，停机。顺便对设备除下尘。用氮气对灰尘吹扫，然后拿吸尘器吸。开机后一切正常，但开机1-2小时后。真空泵转数和真空就会出错。前级真空可以达到50mTorr以下。找工程师询问，说是要来现场才能判断。但时间上不知道安排到什么时候了，比较紧急的情况。请各位高手指点下可能的原因！！谢谢
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ruan651209
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2009/9/14 19:22:26 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 zhao1hao2985 发表:
事情是这样的。上周五安装UPS，停机。顺便对设备除下尘。用氮气对灰尘吹扫，然后拿吸尘器吸。开机后一切正常，但开机1-2小时后。真空泵转数和真空就会出错。前级真空可以达到50mTorr以下。找工程师询问，说是要来现场才能判断。但时间上不知道安排到什么时候了，比较紧急的情况。请各位高手指点下可能的原因！！谢谢


1　真空出错不知有何提示？
2　正常使用，前级真空俺这大多在37－45mTorr。
3　DSQ真空指示与其他机型不一样。
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2009/9/14 20:11:10 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 ruan651209 发表:
原文由 zhao1hao2985 发表:
事情是这样的。上周五安装UPS，停机。顺便对设备除下尘。用氮气对灰尘吹扫，然后拿吸尘器吸。开机后一切正常，但开机1-2小时后。真空泵转数和真空就会出错。前级真空可以达到50mTorr以下。找工程师询问，说是要来现场才能判断。但时间上不知道安排到什么时候了，比较紧急的情况。请各位高手指点下可能的原因！！谢谢


1　真空出错不知有何提示？
2　正常使用，前级真空俺这大多在37－45mTorr。
3　DSQ真空指示与其他机型不一样。


DSQ的TUNE 软件正常的话，开机 3-5分钟左右。PUMP RPM 和VACUUM都会在OK状态。我现在开机后1个小时内是OK的。过了1个多小时就FAULT状态了。
前级真空一般DSQ在60以下就没什么问题的。
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❤厶大三
chihaijun
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2009/9/15 8:11:52 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
也许是散热的问题？纯属瞎猜
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ruan651209
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2009/9/15 8:36:46 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊

DSQ的TUNE 软件正常的话，开机 3-5分钟左右。PUMP RPM 和VACUUM都会在OK状态。我现在开机后1个小时内是OK的。过了1个多小时就FAULT状态了。
前级真空一般DSQ在60以下就没什么问题的。


还真没碰到过，看来只好等工程师了。
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Last edit by ruan651209
zhao1hao2985
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2009/9/16 12:31:24 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 chihaijun 发表:
也许是散热的问题？纯属瞎猜

谢谢了，好像还真是散热问题。自己加装的除尘网透气性差了点。
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wanttofly
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2009/9/16 17:42:32 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 zhao1hao2985 发表:
[谢谢了，好像还真是散热问题。自己加装的除尘网透气性差了点。

很久以前听了一个工程师的介绍,加了个滤网,又被另外一个工程师批驳了,说不利于散热,温度不能高于30度,所以又拆了,还常年将空调调到20度
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