主题:【资料】半导体硅材料中杂质元素的分析方法

浏览0 回复25 电梯直达
开心
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原文由 Field_Tian(MWSpecialist) 发表:
如果用激光烧蚀加上HR-ICP-MS也可以的,有GD-MS就更简单啦

个人认为GD-MS的灵敏度用来分析半导体硅材料中杂质,灵敏度不够吧!!哪位大侠有相关的资料,能否分享一下?谢谢
car19
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yanyan10
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