第三类是原子、分子和电子束、中子束、离子束、分子束等相互作用,或再外加激光束。其中物质与电子束相互作用的仪器称为电子光学仪器,如透射电镜、扫描电镜、电子探针、电子能谱仪等。物质与中子束相互作用的如中子衍射仪。物质与离子束相互作用的称为离子光学仪器,如无机质谱、有机质谱、生物质谱、同位素质谱、离子探针等。以及各种显微镜,如原子力显微镜[AFM],激光力显微镜[LFM],静电力显微镜[EFM],弹道电子发射显微镜[BEEM],扫描隧道电位仪[STP],扫描离子电导显微镜[AICM],扫描近场光学显微镜[SNOM],光子扫描隧道显微镜[PSTM],扫描探针显微镜[SPM]等。
第四类是利用物质的不同组份在各种填料介质(或再外加电场)中不同的扩散速度进行分离,再分别测定的色谱分析法,如
气相、
液相色谱、纸上色层、毛细管电泳、薄层扫描色谱、
离子色谱等。