主题:【求助】ARL 真空系统中的diaphragm pump是什么泵?

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chauchylan
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ARL 4460真空系统由diaphragm pump及molecular drag pump建立,其中molecular drag pump也就是涡轮分子泵,但diaphragm pump是什么泵,它与通常的机械泵在工作原理方面有何不同?谢谢了..
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chemchenxj
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rzxjz
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隔膜真空泵的工作原理:电机的圆周运动,通过机械装置使泵内部的隔膜做往复式运动,从而对固定容积的泵腔内的空气进行压缩、拉伸形成真空(负压),在泵抽气口处与外界大气压产生压力差,在压力差的作用下,将气体压(吸)入泵腔,再从排气口排出。
chauchylan
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