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主题：【讨论】如何测多晶硅镇中C和O的含量

浏览0 回复9 电梯直达
mc2007
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发表于：2010/12/28 15:42:48 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
最近实验室里面要测多晶硅中碳氧含量，但我查到的资料都是测单晶硅中的碳氧含量，有做过多晶硅的同学吗？

多谢！
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2010/12/28 17:07:18 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
基本上多晶硅的测量是沿用单晶硅的方法
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ghcily
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2010/12/29 15:33:25 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
多晶单晶差不多吧，在测试的时候单晶多晶区别不出来吧
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fyrebecca
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2010/12/29 16:46:16 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我听Thermo那边的人说多晶是沿用单晶的标准方法来做测试的
该人以前是制定该方法国标的人
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zwyu
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2010/12/31 18:58:52 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
嗯，基本上就是参考《GB-T 1557-2006 硅晶体中间隙氧含量红外吸收测量方法》、《GB-T 1558-1997 硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法》，虽然这些标准都是针对单晶硅的。

原文由 fyrebecca(fyrebecca) 发表:
基本上多晶硅的测量是沿用单晶硅的方法
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hupo
chhm19860311
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2011/6/28 19:37:27 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
用常温红外测试间隙碳和氧的含量。我们这里是这样测的。
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zwyu
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2011/6/28 22:09:33 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
那个不含氧的基片怎么解决的？直接买的SRM 2551？

原文由 chhm19860311(chhm19860311) 发表:
用常温红外测试间隙碳和氧的含量。我们这里是这样测的。
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salmon
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2011/6/30 16:16:45 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
基本上这个是买不到的。
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zwyu
zwyu
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2011/7/12 22:17:53 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
那空白基片怎么搞？

原文由 salmon(salmon) 发表:
基本上这个是买不到的。
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salmon
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2011/7/13 14:08:45 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
一般的软件里都带一条曲线的，区别在于这条曲线的质量如何
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