最近有一台闲置的MS, 于是考虑拿来做热分析, 设计如图所示
MS是佳能Anelva的一个小型的,
M-101QA, http://www.canon-anelva.co.jp/products/component/mass/tdms.html质量数只能测小于100的, 主要目的是测量一些无机固体物质受热分析后产生的气体, 进行机理研究.
问题如下, 方框内的第2套抽气系统一开始没有加, 就靠左上角的扩散泵抽真空, 只能抽到10 的-3Pa左右. 虽然也能达到MS的工作范围, 但是实际操作起来经常是样品受热分解后压力会有一个瞬间的升高, 导致超出MS的工作压力范围而使MS报错, 测量终止. 于是打算引入第2套抽气系统, 设想是样品受热分解产生的气体先被抽走大部分, 另外小部分进入MS检测, 这样估计可以使得瞬时压力不止于过高而损坏MS, 目前还是不断的测试中.
想请问有经验的朋友, 通常这样类型的MS系统应该如果组建, 使得压力不止于过高? 谢谢大家.
------------分割线-------------
今天加入了方框中的第2套抽气系统, 效果还是不理想,但比之前好一点. 之前是加热到150左右质谱仪就由于压力升高自动关闭了, 今天可以到200度左右, 但离目标还有差距, 请教各位高手有没有更好的办法呢