原文由 驰奔(srd2009) 发表:
弱弱的问一下楼主,你的意思是不是这个等离子清洗,可以清洗到电镜真空腔室内的每个部位呢?
非常好的问题! “驰”老师。。。。
每个电镜都有很多预留的接口, 而本身针对不同电镜比如冷场4800,ZEISS场发射,FEI场发射或FIB系统,每个型号基本上都有很多相对应的接口可以配置。
基本上如果按照原厂针对每个机台的建议接口还预留的话,包括样品台,样品,探测器,EDX,EBSD窗口,镜筒低端都可以清洁到, 可以而样品腔内本身可以达到或大于90%的清洁面积。
所以在配置之前必须知道现有机台预留的接口有哪些然后选择一个最合适的接口。