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主题：【求助】请教 日立s4300

浏览0 回复4 电梯直达
bmwm3v6
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发表于：2011/08/01 21:34:59 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请教前辈们，公司准备购进一台SEM，需要场扫描电镜，做到3nm，不知日立S4300怎样，在配能谱仪，它的价位是多少～！
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2011/8/1 21:47:59 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
打错了是场发射扫描电镜
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asahi42
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2011/8/2 0:02:42 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
LZ如果选场发射的话，常规的场发射分辨率都在1nm，3nm是钨灯丝SEM的分辨率。。。Hitachi S-4300已经是很久以前的产品了，已停产，现在的当家场发射是SU-80X0系列（X=1至4）。
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小M
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2011/8/2 10:24:43 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
钨灯丝的分辨率可以达到3nm吗？
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asahi42
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2011/8/2 12:31:05 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 小M(mitchell_dyzy) 发表:
钨灯丝的分辨率可以达到3nm吗？


指标上是那么写的么~真正3nm的细节肯定要用场发射看的~
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