主题:【求助】开机时真空腔体无法吸紧是怎么回事

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论坛版主招募|新窦
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今天清洗离子源后,开机时腔体怎么都无法吸紧,真空无法抽上去,会是前级泵哪个地方漏气了吗?还会有其他原因吗?仪器是安捷伦5975

来自一群友的问题
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先检查一下放空阀有没有关紧,再把侧板打开后看到的那一圈黑色的密封圈用无纺布好好擦一下,开机后用力推紧侧板再看看
learner1999
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