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厚度测量用等厚条纹的误差有多大?和CBED相比哪个更精确呢?
如果样品是比较均匀的wedge-shape,wedge夹角不太大(比如30度以上)的话,等厚条纹精度基本上可以测量50-250nm范围内精度大约10-20nm吧,如果可以做动力学衬度模拟的话,精度可以提高到3-5nm左右。材料不同范围和精度也会有些变化吧,大概就是这样子。因为我只是估计一下厚度而已,20nm的精度差不多够用了。
CBED没有做过。貌似也要做模拟
请问你说的动力学模拟是具体怎么做。CBED我看文章,就是麻烦,工作量大。如果用等厚条纹误差不大的话,我觉得还是这个比较适合大量的统计。
大量统计的话,厚度条纹是不错的方法,一张照片范围大,实验工作要少的多。
想提高精度动力学模拟是个很麻烦的东西,现成的程序,我知道的有SIMCON,是Fortran写的,UNIX运行,PC平台下我没有试过。PC下,JEMS有一个功能简单的Howie-Whelan模拟,功能有限,而且JEMS是商业软件。再另外,就得自己写代码了,更麻烦。
体积计算契形长方形都可以啊,均匀契形的中央厚度就等于长方形的高嘛。