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主题：呵呵 高手来啊 PH3一般怎么用气相测

浏览0 回复6 电梯直达
cyd0000000000
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发表于：2012/03/23 14:09:26 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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如题，知道的高人来啊，大家交流下。我的QQ791127071.多晶硅方面的感兴趣的来。新手没分 呵呵 交流下。
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2012/3/26 23:07:27 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问PH3的全称是什么？
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2012/3/31 17:37:43 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
很遗憾，弄不清楚是什么
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戈壁明珠
zongguitang
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2012/3/31 21:15:10 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 symmacros(jimzhu) 发表:
请问PH3的全称是什么？

就是磷烷，磷化氢。但是我不知道用气相怎么做。
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2012/4/17 11:33:00 Last edit by zongguitang
ruiruiqiu
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2012/4/15 11:36:06 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
PH3的强挥发性气体，会麻痹神经，一般操作最好在通风处理进行。一般用GC-FPD就可以，西方国家都用PH3作为储粮熏蒸，建议你查下Yonglin Ren的相关文献，他有个课题专门检测熏蒸后储粮中PH3残留的，用的就是GC，他们实验室1ppm的量都可以用GC-FPD检测的到
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cydasiasilicon
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2012/12/2 15:34:27 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
呵呵 谢谢啊  我看看去。
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cydasiasilicon
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2012/12/2 15:34:32 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
呵呵 谢谢啊  我看看去。
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