主题:呵呵 高手来啊 PH3一般怎么用气相测

浏览0 回复6 电梯直达
cyd0000000000
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如题,知道的高人来啊,大家交流下。我的QQ791127071.多晶硅方面的感兴趣的来。新手没分 呵呵 交流下。
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symmacros
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原文由 symmacros(jimzhu) 发表:
请问PH3的全称是什么?

就是磷烷,磷化氢。但是我不知道用气相怎么做。
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2012/4/17 11:33:00 Last edit by zongguitang
ruiruiqiu
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PH3的强挥发性气体,会麻痹神经,一般操作最好在通风处理进行。一般用GC-FPD就可以,西方国家都用PH3作为储粮熏蒸,建议你查下Yonglin Ren的相关文献,他有个课题专门检测熏蒸后储粮中PH3残留的,用的就是GC,他们实验室1ppm的量都可以用GC-FPD检测的到
cydasiasilicon
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