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X射线荧光光谱仪（XRF）
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主题：【讨论】XRF测量薄膜厚度的原理是什么？

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wjwels
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发表于：2012/04/05 20:06:08 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
        听说可以用XRF来测量薄膜厚度，并且可以测多层膜的厚度，但是不知道原理是什么。请版上的各位老师介绍一下技术原理与操作时注意要点。

        万分感谢！
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2012/4/7 15:27:28 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
检测对厚度有要求，但是测厚度还没有应用过
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zhangjiancn
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2012/4/7 23:36:38 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
x荧光光谱分析厚度其实是非常简单的，但却需要1个重要的条件--就是标准样品，有了标准样品才能测厚，但也不能测无限厚，其厚度不能超过120左右微米。此外，Uniquant 无标样分析软件自带厚度测量程序且能测里多层膜厚。
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2012/4/9 0:13:31 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
zhangjiancn：x荧光光谱分析厚度其实是非常简单的，但却需要1个重要的条件--就是标准样品，有了标准样品才能测厚，但也不能测无限厚，其厚度不能超过120左右微米。此外，Uniquant 无标样分析软件自带厚度测量程序且能测里多层膜厚。
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wjwels
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2012/4/15 21:51:29 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
能不能再具体一点，信息太少了。求原理、计算方法、参考文献等等。
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