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主题：【求助】离子泵怎样做烘烤？

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kuku5837
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发表于：2012/06/07 09:28:42 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
bake out时，是否镜筒和离子泵一起烘烤了，还是需要单独对离子泵进行烘烤？
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2012/6/18 8:22:31 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
在bake out时有两个选择，一个column和stage，其中stage中就包括了离子泵，如果烘烤时不选择stage的话，烘烤完后真空会很差
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