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7890A ECD基线不平稳,于是开始做热清洗。拆下毛细管柱,堵上死堵,升温,输出信号很高:800,000 加大尾吹流量到60,还有120,000.。不正常!降温,检查硬件,发现了悲催的一幕:尾吹管脱离!
马上打800,问得部件号:G3433-63000,这与10版目录上的部件号G3433-67565不一致!
按新的部件号订货呀,赶紧的!必须的!!
快递公司的曲折故事就不说了。。。。。。
收到货,赶紧看看:
是不是叫尾吹管?uECD make-up gas adapter weldment assembly
外观正常!动手呀:
松开固定螺母:
拔下电线:
取下防护罩:
松开检测器螺丝:
拿出检测器:
取下尾吹管;
松开连接EPC的这一端;
注意:三颗螺丝的位置!三颗螺丝的大小、形状都不一样!!
拆下之后的样子:
拆下来的尾吹管:
套上新的尾吹管,按照拆下来的反序安装,OK!
装上毛细管柱,测试:3小时后基线380.。。。。。
第二天,基线150。上样,基线130,一切OK!!