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主题：【求助】请问有谁在使用PE Elan 6000这台仪器的吗？

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周汉晋隋宋清

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发表于：2012/11/06 09:29:17 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我们公司有一台PE公司的Elan 6000好久没有使用，最近开机测试了一下，能够正常运行。不过最近发生了两次炬管烧化的事故，同时RF线圈也看到破损，我们推测是氩气进量不够，请问还有谁有见过类似现象，是什么原因呢？
PS：请问有没有哪家单位或者研究所也在用同款仪器，可以请教探讨~^_^

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2012/11/6 9:39:37 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

会不会是冷却气流量设置太小了，没有具体用过这个型号的仪器，不过感觉需要适当增加冷却气的流量。

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周汉晋隋宋清

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2012/11/6 10:01:57 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 悠旸(ihqs) 发表:
会不会是冷却气流量设置太小了，没有具体用过这个型号的仪器，不过感觉需要适当增加冷却气的流量。

第一次烧坏后注意了这个问题，不过还是发生了第二次，所以想问问是否还有其他可能原因

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tuxlin

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2012/11/6 10:34:56 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我就在用Elan600。
首先你的“RF线圈也看到破损”，破损到什么程度，有没有漏气。Elan的等离子气是通过线圈后进到炬管的（这样做是为了冷却线圈，其他公司的仪器是用冷却水来冷却线圈）。所以如果线圈有漏气的话，就会造成等离子气不够，会烧炬管。不知你们有没有换新的线圈试试。
Elan6000由于生产较早，它并没有使用数字式气体质量流量控制器，使用的是压力传感流量控制器。等离子气流速固定在15L/min，辅助气为1.2L/min，软件里是不可调节的。你手头上如果有流量计，可以将等离子气与辅助气拆下来量一下，看看是不是在上述范围内。

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