原文由 xiaowei_zhuang(xiaowei_zhuang) 发表:原文由 gzl861225(gzl861225) 发表:
昨天做样是好好的,今天想做样时发现分子涡轮泵停止转动了。很奇怪?重启仪器分子涡轮泵工作,当真空到达一定值之后,Fore pressure值越来越大?难道是分子涡轮泵坏掉了?有没有遇到类似问题的?
过完年,我的Trace ISQ也遇到了类似的问题,分子泵不转,但是Fore Pressure能到70 mT,昨天色魔的工程师来,检查下来说分子泵故障,老板脸要绿了,买新的色魔要将近13W大洋,咨询爱德华说不能修,只能换,也要5W大洋,泪崩!
原文由 tang566(tang566) 发表:原文由 xiaowei_zhuang(xiaowei_zhuang) 发表:原文由 gzl861225(gzl861225) 发表:
昨天做样是好好的,今天想做样时发现分子涡轮泵停止转动了。很奇怪?重启仪器分子涡轮泵工作,当真空到达一定值之后,Fore pressure值越来越大?难道是分子涡轮泵坏掉了?有没有遇到类似问题的?
过完年,我的Trace ISQ也遇到了类似的问题,分子泵不转,但是Fore Pressure能到70 mT,昨天色魔的工程师来,检查下来说分子泵故障,老板脸要绿了,买新的色魔要将近13W大洋,咨询爱德华说不能修,只能换,也要5W大洋,泪崩!
分子泵故障前,有什么预兆吗?
原文由 xiaowei_zhuang(xiaowei_zhuang) 发表:没有什么预兆,停机就坏,不好查找原因,这个泵使用多久了?原文由 tang566(tang566) 发表:原文由 xiaowei_zhuang(xiaowei_zhuang) 发表:
过完年,我的Trace ISQ也遇到了类似的问题,分子泵不转,但是Fore Pressure能到70 mT,昨天色魔的工程师来,检查下来说分子泵故障,老板脸要绿了,买新的色魔要将近13W大洋,咨询爱德华说不能修,只能换,也要5W大洋,泪崩!
分子泵故障前,有什么预兆吗?
真心没什么感觉,年前还好好的
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过完年,我的Trace ISQ也遇到了类似的问题,分子泵不转,但是Fore Pressure能到70 mT,昨天色魔的工程师来,检查下来说分子泵故障,老板脸要绿了,买新的色魔要将近13W大洋,咨询爱德华说不能修,只能换,也要5W大洋,泪崩!
分子泵故障前,有什么预兆吗?
真心没什么感觉,年前还好好的
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昨天做样是好好的,今天想做样时发现分子涡轮泵停止转动了。很奇怪?重启仪器分子涡轮泵工作,当真空到达一定值之后,Fore pressure值越来越大?难道是分子涡轮泵坏掉了?有没有遇到类似问题的?
过完年,我的Trace ISQ也遇到了类似的问题,分子泵不转,但是Fore Pressure能到70 mT,昨天色魔的工程师来,检查下来说分子泵故障,老板脸要绿了,买新的色魔要将近13W大洋,咨询爱德华说不能修,只能换,也要5W大洋,泪崩!