主题:【讨论】开机时离子源温度一下就升到500多度

浏览0 回复14 电梯直达
lichao2006min
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jiangwibo
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我们曾出现过这个问题,但你的仪器不一定是这种情况,先声明下。我们有台老爷机5973,MS接口链接真空腔部分被腐蚀穿了,检漏的时候也很难检到,仪器微漏。一升MS温度,就会变成500多度,后来停机拆开了才发现原因。我记得还有种情况,也是假高温的出现,现在记不得了,回去我看了再回复。
tianqi20
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查看下线路连接,会不会是线路的问题?现在问题解决了吗?
居间惠
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上周我们也出现了这种问题,电话咨询工程师,说是线可能老化了,导致四级杆不升温,离子源温度显示560度。后来工程师上门维修,发现是离子源上的加热模块(推斥极和陶瓷绝缘体固定在这个模块上)断路了,显示电阻无穷大。后来更换后,问题就解决了!
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