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主题：【求助】请问赛默的ISQ在待机过程怎样设置参数好省氦气？

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yuanlidi
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发表于：2013/05/07 08:54:46 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如题，我的整个系统都是用氦气做载气，包括GC，请问怎样设置各流量使得待机状态下更省气?载气流量、分流流量、尾吹、隔垫催扫等！谢谢！
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2013/5/7 11:59:50 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
在方法设置那里有一个“载气节省”模式的，你可以等进样后稍微更改一下就可以节省载气了。如果想节省的话GC就没有必要用氦气了，直接用高纯氮气也可以的。
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20070908li
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2013/5/7 12:12:29 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
采用不分流模式，相对节省一些。
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tang566
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2013/5/7 12:19:21 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
柱流量设为1ml/min,进样模式釆用不分流会省气些，隔垫吹扫，按厂家推荐的就好。
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louxh
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2013/5/12 20:47:53 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
GAS SAVE 设置ON
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shenzhen20
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2013/10/9 11:00:45 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
新手学习中！！！
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