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上周公司组织大家旅游,加上周日休息,一共4天。今天来上班,进样后,发现没有信号,透过视窗,发现灯丝没亮。想到上次维护,灯丝严重变形,这次估计是彻底坏掉了。还好上次就买了备用的灯丝,不至于急急忙忙的请购。
赶紧关机,看看情况。
关机步骤:工作站调谐界面,真空——放空,等待分子泵停止转动(规定转速50%以下),离子源和四级杆降温到100℃以下(这个比较耗时),关闭GC和MS电源(载气可以不关,时间短)。旋开放空阀,拔掉侧板线缆,打开侧板,就可以看见真空系统的真容啦。
带好手套(我通常带一次性薄膜手套,工具包中的棉手套也行),用镊子拔下离子源身上的各种线,拧下固定螺丝,取出离子源,扣在离子源专用金属盘上。
取下固定灯丝的螺丝,就可以把灯丝从离子源壳体上拿下来了。经过检查,发现1号灯丝烧断,2号灯丝变形。上图:
把新买的两个灯丝,安装在离子源壳体上,反步骤安装好,就行了。
换下的灯丝,还可以装放在新灯丝的透明盒子中。变形的灯丝要保存好,还可以继续使用。等这两个新灯丝哪一个再坏了,就可以派上用场啦。
这里要说下,如果手头有一对新灯丝,建议都换成新的,旧的备用。
使用灯丝的时候,要过一段时间就交替使用。方法:在调谐和真空控制界面,参数——手动调谐
可以看见正在使用的灯丝编号(默认是1号灯丝),直接填写2,并确定,就可以使用2号灯丝(发射电子)了。
还有一种手动更换灯丝位置(上面位置的为1号,下面的2号),这个不推荐,太费事。
灯丝的更换就讲完了。如果趁这次停机,做一些其他的仪器维护,就更好了。比如检测泵油液面和颜色,进样口维护,清洗离子源等。我就是顺便清洗了离子源。
另外在安装过程中,发现一个小问题,给大家提个醒。
关闭侧板的时候,发现关不上,要使很大的劲,才能关闭侧板。怀疑是什么东西卡住了。
完全打开侧板,没发现什么东西卡住,但就是关不上。回想以前的操作,关闭侧板应该是很轻松的。
再次完全打开侧板,仔细检查,才发现问题所在。
原来是侧板密封圈有一点点脱出来了。因为是最里面的角上,不容易发现。
把密封圈重新塞回槽内,再关侧板,很轻松关好了。
这也提醒了我,安装的时候,不要使蛮力。不要以为自己劲大,就忽略了问题。